透射掃描電子顯微鏡由透射電子顯微鏡(TEM)發展而來，指透射電子顯微鏡中有掃描附件者，尤其是指采用場發射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現的一種新型分析方式，其空間分辨率可達亞埃米級，可在納米和原子尺度上對材料微結構與精細化學組分的表征與分析。在冶金、材料、環境科學、生物科學等領域具有很大的應用潛力。
透射掃描電子顯微鏡使用高亮度的冷電子光源，匯聚成極細的電子探針后對樣品進行掃描，然后收集穿過樣品的電子，同時在樣品正方裝有電子能量分析器。
該產品的分辨率較高，理論上可達0.1～0.2nm，實際分辨力可達0.2nm，遠超過光學顯微鏡的分辨率(約200納米)。其放大倍數可高可達近百萬倍，使得研究人員能夠觀察到物質的微觀結構，包括晶體結構、原子排列和缺陷等細節信息。
該產品具有分辨率高、可與其他技術聯用的優點，在材料學、物理、化學和生物學等領域有著廣泛地應用。材料的微觀結構對材料的力學、光學、電學等物理化學性質起著決定性作用。
